產(chǎn)品詳情
真空腔室 |
φ120*H350mm |
基片架 |
轉(zhuǎn)速可調(diào) |
最大可鍍工件直徑 |
φ60mm |
極限真空度 |
2X10-4Pa |
抽氣時(shí)間 |
≤30min |
功率 |
150W |
真空系統(tǒng) |
進(jìn)口分子泵 |
蒸發(fā)溫度 |
80-600度 |
膜厚儀 |
單通道 |