產(chǎn)品詳情
為了提高厚膜電路的精度，必須進(jìn)行阻值調(diào)整。由于厚膜絲網(wǎng)印刷操作固有的不準(zhǔn)確性，基板表面的不均勻及燒結(jié)條件的不重復(fù)性，厚膜電阻常出現(xiàn)正負(fù)誤差，如果阻值超過(guò)標(biāo)稱值將無(wú)法修正，但是，一般情況下印刷燒成后阻值低于目標(biāo)值的大約30％，所以要通過(guò)激光調(diào)整達(dá)到目標(biāo)值。
激光修調(diào)是把一束聚焦的相干光在微機(jī)的控制下定位到工件上，使工件待調(diào)部分的膜層氣化切除以達(dá)到規(guī)定參數(shù)或阻值。調(diào)阻時(shí)局部溫升使玻璃熔化，氣化部分阻值槽邊緣受到玻璃覆蓋，可填平基體表面被切割的介質(zhì)。
先進(jìn)的激光修調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用了大量的LSI、VLSI電路，以大部分的軟件操作代替許多硬件功能。核心部分是通過(guò)硬件直接與激光器、光束定位、分步重復(fù)及測(cè)量等系統(tǒng)相連接。測(cè)量系統(tǒng)由采用精密電橋和矩陣組合的無(wú)源網(wǎng)絡(luò)組成。
LT7130激光調(diào)阻機(jī)
設(shè)備特點(diǎn)
適用厚膜電路調(diào)阻，電子模塊功能修調(diào)
高精度，高速度，高可靠性
訂制的技術(shù)激光器，切口質(zhì)量高
直線電機(jī)XY平臺(tái)分步重復(fù)
消色差成像技術(shù)，圖像識(shí)別功能
矩陣測(cè)量系統(tǒng)，配備IEEE-488(GPIB)接口
強(qiáng)大軟件編程功能，滿足各種不同應(yīng)用
主要技術(shù)參數(shù)
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激光系統(tǒng) |
型號(hào)規(guī)格 |
LT7130/G/U |
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激光波長(zhǎng) |
1064nm/532nm/355nm |
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激光功率 |
8W/5W/3W |
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典型光斑尺寸 |
35±5μm/18μm/10μm |
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對(duì)焦方式 |
自動(dòng)，計(jì)算機(jī)程序控制 |
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冷卻方式 |
水冷 |
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激光束定位系統(tǒng) |
激光束運(yùn)動(dòng)范圍 |
60mm X 60mm |
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運(yùn)動(dòng)分辨率 |
0.76μm |
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重復(fù)定位精度 |
±2.5μm |
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分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) |
運(yùn)動(dòng)方式 |
平面電機(jī)或直線電機(jī) |
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運(yùn)動(dòng)范圍 |
290mm*260mm |
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重復(fù)定位精度 |
±1μm |
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運(yùn)動(dòng)速度（空載） |
900mm/s |
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測(cè)量系統(tǒng) |
電阻測(cè)量方式 |
四線制測(cè)量或二線制測(cè)量 |
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電阻測(cè)量精度 |
中阻 ± 0.02% |
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電阻測(cè)量范圍 |
0.1Ω-100MΩ |
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測(cè)量速度 |
25μs/次 |
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零點(diǎn)及滿程誤差校正 |
自動(dòng)校正 |
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探針定義 |
可編程任意設(shè)定 |
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探針板運(yùn)動(dòng) |
自動(dòng)、計(jì)算機(jī)程序控制 |
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探針板規(guī)格 |
標(biāo)準(zhǔn)P48 |
