LED專用爐，青島廠家源頭直銷，支持全國定制

數(shù)量(臺) 價格
1 1.00元/臺
  • 最小起訂： 1臺
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-09-23
  • 訪問量：73
咨詢電話：136-0642-6381
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第1年

青島福潤德微電子設(shè)備有限公司

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  • 聯(lián)系人：張琪
  • 手機：13606426381
  • 電話：86-13606426381
  • 營業(yè)執(zhí)照：已審核 營業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營模式： 生產(chǎn)加工-私營有限責任公司
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：885分
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詳細參數(shù)
品牌福潤德型號福潤德
加工定制是

產(chǎn)品詳情

LED專用爐主要滿足LED芯片制造行業(yè)，對圓片及殘片進行合金、退火、擴散、氧化等工藝。


主要性能指標：


外型形式：臥式1—4管結(jié)構(gòu)，水平爐管
工作溫度：200℃—1100℃
恒溫區(qū)長度：≥600mm
硅片規(guī)格：適用于2—6英寸硅片以及碎片
恒溫區(qū)精度：≤±1℃(在400—1000℃范圍內(nèi))
單點溫度穩(wěn)定性、重復(fù)性：≤±1℃／24h(在400—1000℃范圍內(nèi))
溫度過沖平衡：載料進爐，溫度平衡到工藝時間，低于10分鐘
工藝氣體及控制：氮氣、氧氣，MFC或浮子流量計控制
氣路系統(tǒng)氣密性：1×10-7PaM3/S
送料機構(gòu)：懸臂石英桿載料，手動
報警系統(tǒng)：工藝氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警
控制方式：工控機總程控制、觸摸屏控制

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