LPCVD設(shè)備 青島福潤(rùn)德

數(shù)量(臺(tái)) 價(jià)格
1 1.00元/臺(tái)
  • 最小起訂： 1臺(tái)
  • 發(fā)貨地址： 山東 青島市
  • 發(fā)布日期：2024-09-24
  • 訪問(wèn)量：39
咨詢電話：136-6889-4181
打電話時(shí)請(qǐng)告知是在機(jī)電之家網(wǎng)上看到獲取更多優(yōu)惠。謝謝！
第1年

青島福潤(rùn)德微電子設(shè)備有限公司

實(shí)名認(rèn)證 企業(yè)認(rèn)證
  • 聯(lián)系人：徐魯陽(yáng)
  • 手機(jī)：13668894181
  • 電話：-
  • 營(yíng)業(yè)執(zhí)照：已審核 營(yíng)業(yè)執(zhí)照
  • 經(jīng)營(yíng)模式： -
  • 所在地區(qū)：山東 青島市
  • 家家通積分：545分

更多>>推薦產(chǎn)品

詳細(xì)參數(shù)
品牌其他型號(hào)LPCVD設(shè)備
類(lèi)型其他加工定制是
規(guī)格尺寸其他

產(chǎn)品詳情

滿足半導(dǎo)體集成電路，電力電子器件，光電子等行業(yè)用于在硅片上淀積SiO2、Si 3N4、Poly-Si、磷硅玻璃、硼硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜工藝。 CVD系統(tǒng)性能特點(diǎn)：
結(jié)構(gòu)形式：1—4管臥式熱壁型
硅片規(guī)格：2—8英寸硅片(或125×125mm、156×156mm方片)
溫度范圍：300～1100℃
恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度：200ram—1000mm(±1℃／24h)
淀積薄膜均勻性：片內(nèi)±5％   片間±5％   批間±5％
沉積膜厚度：600～15000A
系統(tǒng)極限真空度：優(yōu)于1Pa
工作壓力范圍：20～133Pa閉環(huán)控制
控制方式：工業(yè)微機(jī)
送料裝置：懸臂推拉舟、軟著陸系統(tǒng)
淀積薄膜分類(lèi)：Si 3N4、SiO2、PSG、Poly-Si膜
真空泵：羅茨泵、機(jī)械泵
工藝氣路：5路氣／管。VCR接口
40KHz脈寬調(diào)制AE高頻電源
裝片量：200片／舟

溫馨提示

  • 還沒(méi)找到想要的產(chǎn)品嗎？ 立即發(fā)布采購(gòu)信息，讓供應(yīng)商主動(dòng)與您聯(lián)系！

免責(zé)聲明：所展示的信息由會(huì)員自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布會(huì)員負(fù)責(zé)，機(jī)電之家網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何責(zé)任。機(jī)電之家網(wǎng)不涉及用戶間因交易而產(chǎn)生的法律關(guān)系及法律糾紛，糾紛由您自行協(xié)商解決。
友情提醒：本網(wǎng)站僅作為用戶尋找交易對(duì)象，就貨物和服務(wù)的交易進(jìn)行協(xié)商，以及獲取各類(lèi)與貿(mào)易相關(guān)的服務(wù)信息的平臺(tái)。為避免產(chǎn)生購(gòu)買(mǎi)風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買(mǎi)相關(guān)產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。過(guò)低的價(jià)格、夸張的描述、私人銀行賬戶等都有可能是虛假信息，請(qǐng)采購(gòu)商謹(jǐn)慎對(duì)待，謹(jǐn)防欺詐，對(duì)于任何付款行為請(qǐng)您慎重抉擇！如您遇到欺詐等不誠(chéng)信行為，請(qǐng)您立即與機(jī)電之家網(wǎng)聯(lián)系，如查證屬實(shí)，機(jī)電之家網(wǎng)會(huì)對(duì)該企業(yè)商鋪?zhàn)鲎N(xiāo)處理，但機(jī)電之家網(wǎng)不對(duì)您因此造成的損失承擔(dān)責(zé)任！
您也可以進(jìn)入“消費(fèi)者防騙指南”了解投訴及處理流程，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)，感謝您對(duì)機(jī)電之家網(wǎng)的關(guān)注與支持！

您是不是在找